[发明专利]确定方法、形成方法、物品的制造方法以及存储介质有效
| 申请号： | 201710405903.1 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107450278B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 住吉雄平 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;H01L23/12;H01L23/522 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及确定方法、形成方法、物品的制造方法以及存储介质。在确定在具有分别形成有第一图案要素的多个区域的第一层之上的第二层，针对所述多个区域的各个区域形成第二图案要素时的偏置值的确定方法中，在应在所述第二层之上设置的第三层，在所述多个区域一并地形成第三图案要素，所述确定方法包括：第一工序，得到表示所述多个区域的各个区域中的所述第一图案要素的位置的第一层信息；第二工序，根据所述第一层信息，求出表示应在所述第三层形成的所述第三图案要素的位置的第三层信息；以及第三工序，根据所述第一层信息及所述第三层信息，确定所述偏置值，以使所述第二图案要素与所述第一图案要素和所述第三图案要素分别重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 方法 形成 物品 制造 以及 存储 介质 | ||
【主权项】：
一种确定方法，确定在具有分别形成有第一图案要素的多个区域的第一层之上的第二层，针对所述多个区域的各个区域形成应与所述第一图案要素重叠的第二图案要素时的偏置值，所述确定方法的特征在于，在应在所述第二层之上设置的第三层，在所述多个区域一并地形成应重叠在所述第一图案要素上的第三图案要素，所述确定方法包括：第一工序，得到表示所述多个区域的各个区域中的所述第一图案要素的位置的第一层信息；第二工序，根据所述第一层信息，求出表示应在所述第三层形成的所述第三图案要素的位置的第三层信息；以及第三工序，根据所述第一层信息及所述第三层信息，针对所述多个区域的各个区域确定所述偏置值，以使所述第二图案要素与所述第一图案要素和所述第三图案要素分别重叠。
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