[发明专利]一种注浆成型高密度ITO靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201710385688.3 | 申请日： | 2017-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN107226680A | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 张天舒;宋晓超;蒋卫国;钱邦正 | 申请（专利权）人： | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/457;C04B35/626;C04B35/622;C04B35/64;B28B1/26;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 | 代理人： | 张清彦 |
| 地址： | 230012 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种注浆成型高密度ITO靶材的制备方法，包括以下步骤取分散剂加入水中，搅拌均匀，用氨水调pH值至8～11，得预混液；向预混液中加入ITO粉体，经球磨机湿磨后；将制得的浆料进行真空除气，把除气后料浆注入石膏模具中；经吸浆成型后脱模，将生坯晾干72h以上，得ITO素坯体；素坯体烧结得ITO靶材。本发明采用注浆成型与无压氧气气氛烧结ITO靶材工艺路线，可低成本生产高致密化的高端ITO靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 成型 高密度 ito 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种注浆成型高密度ITO靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)预混液制备：取分散剂加入水中，搅拌均匀，用氨水调pH值至8～11，得预混液；分散剂的加入量为ITO粉体质量的1.5～3.0％，水的加入量为ITO粉体质量的10～20％；(2)悬浮浆料的制备：向预混液中加入ITO粉体，经球磨机进行湿磨；(3)坯体成型：将球磨后的浆料进行真空除气，把真空除气后料浆注入石膏模具中；吸浆成型后脱模，将生坯晾干72h以上，得ITO坯体；(4)脱脂：将干燥的ITO坯体放置到脱脂炉中以0.5℃/min升温到600℃，并保温3h；(5)烧结：将脱脂后的ITO坯体放置到烧结炉中，在流动的氧气氛下，以50～120℃/h升温至1450～1650℃，并保温5～10h，通过自然降温至温度低于200℃，而得高密度ITO靶材。
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