[发明专利]金属-氧化物-金属电容

摘要

本发明提供一种金属‑氧化物‑金属(MOM)电容。该金属‑氧化物‑金属(MOM)电容包括至少一个电容组件，其中，每一个电容组件包括第一电极和第二电极。该第一电极具有闭合图案。该第二电极被该第一电极的该闭合图案围绕。采用本发明，可以提高电容的线性度。

主权项

1.一种金属‑氧化物‑金属电容，包括至少一个电容组件，其特征在于，每一个电容组件包括：第一电极和第二电极；其中，所述第一电极具有闭合图案；以及，所述第二电极被所述第一电极的所述闭合图案围绕；其中，所述第一电极包括：多个第一导电条、多个第二导电条和至少一个第三导电条，所述多个第一导电条、所述多个第二导电条和所述至少一个第三导电条彼此电连接，每一个第一导电条与所述多个第二导电条之至少一者连接，以及，每一个第三导电条与所述多个第二导电条之至少一者连接；以及，所述第二电极包括：至少一个第五导电条和至少一个第四导电条，所述至少一个第五导电条和所述至少一个第四导电条彼此电连接，每一个第四导电条与所述至少一个第五导电条连接；其中，所述第一导电条、所述第三导电条和所述第四导电条在第一方向上延伸，所述第二导电条和所述第五导电条在第二方向上延伸，以及，所述第一方向与所述第二方向交叉；其中，所述第一导电条、所述第三导电条和所述第四导电条由相同的图案化导电层形成，所述第二导电条和所述第五导电条由另一图案化导电层形成，所述每一个第一导电条通过多个第一通孔分别电连接到所述多个第二导电条之至少一者，所述每一个第三导电条通过至少一个第二通孔分别电连接到所述多个第二导电条中的至少一个，以及，所述每一个第四导电条通过第三通孔电连接到所述第五导电条。