[发明专利]微机械的构件和同时围绕两个彼此倾斜的转动轴线调节能够调节的部件的方法

摘要

本发明涉及一种微机械的构件，具有能够调节地布置在所述支架处的能够调节的部件；和至少一个弯曲执行器，其中，至少所述能够调节的部件由于从所述至少一个弯曲执行器的所述至少一个第一部分区域的调节运动中得到的回复力关于所述支架围绕所述第一转动轴线能够调节，并且其中，至少所述能够调节的部件与至少一个永磁体如此地间接相连：使得至少所述能够调节的部件借助于由构件本身的或者外置的轭装置构建的磁场连同所述至少一个永磁体围绕所述第二转动轴线能够调节。本发明还涉及一种微镜装置。本发明还涉及一种用于同时围绕两个彼此倾斜的转动轴线调节能够调节的部件的方法。

主权项

一种微机械的构件，具有：支架（11）；能够调节地布置在所述支架（11）处的能够调节的部件（10）；和至少一个弯曲执行器（14a至14d），该弯曲执行器如此地构造并且给该弯曲执行器能够如此地提供至少一个电信号：使得所述至少一个弯曲执行器（14a至14d）的各一个第一部分区域在所述借助于所述至少一个电信号分别被操控的弯曲执行器（14a至14d）的至少部分的形变下能够转换到关于所述相应的弯曲执行器（14a至14d）的各一个第二部分区域的调节运动中；其中，至少所述能够调节的部件（10）基于从所述至少一个弯曲执行器（14a至14d）的所述至少一个第一部分区域的调节运动中得到的回复力关于所述支架（11）围绕所述第一转动轴线（16）能够调节；并且其中，至少所述能够调节的部件（10）关于所述支架（11）围绕所述第一转动轴线（16）能够调节并且同时围绕倾斜于所述第一转动轴线（16）定向的第二转动轴线（20）能够调节；其特征在于至少一个永磁体（18a、18b），该永磁体如此地与所述能够调节的部件（10）间接相连：使得至少所述能够调节的部件（10）借助于由构件本身的或者外置的轭装置构建的磁场连同所述至少一个永磁体（18a、18b）围绕所述第二转动轴线（20）能够调节。