[发明专利]一种单晶提拉炉热场结构在审
| 申请号： | 201710356903.7 | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN108950677A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单晶提拉炉热场结构，所述单晶提拉炉热场结构包括：炉体；位于所述炉体内的坩埚；位于所述坩埚侧面的第一加热器；位于所述坩埚底部的第二加热器；以及位于所述坩埚内熔体上方的第三加热器。通过本发明所述的单晶提拉炉热场结构，解决了现有单晶提拉炉热场结构制备的硅单晶存在质量不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶提拉炉 热场结构 坩埚 加热器 第一加热器 不均匀 硅单晶 内熔体 炉体 制备 体内 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种单晶提拉炉热场结构，其特征在于，所述单晶提拉炉热场结构包括：炉体；位于所述炉体内的坩埚；位于所述坩埚侧面的第一加热器；位于所述坩埚底部的第二加热器；以及位于所述坩埚内熔体上方的第三加热器，用于抑制固液界面的散热。
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