[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201710352700.0 | 申请日: | 2013-03-08 |
公开(公告)号: | CN107256856B | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 秦志康;斋藤隆幸;堀部裕史 | 申请(专利权)人: | 瑞萨电子株式会社 |
主分类号: | H01L23/535 | 分类号: | H01L23/535;H01L21/60;H01L23/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 高培培;车文 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供半导体装置。半导体装置具备:半导体芯片,具有配置有第1金属结构及第2金属结构的主面,上述第2金属结构与上述第1金属结构相邻地配置;第1金属线,与上述半导体芯片的上述第1金属结构电连接;第2金属线,与上述半导体芯片的上述第2金属结构电连接;及密封体,对上述半导体芯片、上述第1金属线及上述第2金属线进行密封,其中,上述第2金属结构配置于配置上述第1金属结构的层中,在上述第1金属结构与上述第2金属结构之间形成有绝缘膜,在上述第1金属结构中,在俯视时,沿着上述第1金属结构的各边连续地形成有第1槽,并且在上述第2金属结构中,在俯视时,沿着上述第2金属结构的各边连续地形成有第2槽。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,具备:半导体芯片,具有配置有第1金属结构及第2金属结构的主面,上述第2金属结构与上述第1金属结构相邻地配置;第1金属线,与上述半导体芯片的上述第1金属结构电连接;第2金属线,与上述半导体芯片的上述第2金属结构电连接;及密封体,对上述半导体芯片、上述第1金属线及上述第2金属线进行密封,其中,上述第2金属结构配置于配置上述第1金属结构的层中,在上述第1金属结构与上述第2金属结构之间形成有绝缘膜,在上述第1金属结构中,在俯视时,沿着上述第1金属结构的各边连续地形成有第1槽,并且在上述第2金属结构中,在俯视时,沿着上述第2金属结构的各边连续地形成有第2槽。
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