[发明专利]共聚焦非接触式位置传感器在审
| 申请号： | 201710348595.3 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN107121069A | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 胡茂海;丁倩 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心32203 | 代理人： | 王玮 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种共聚焦非接触式位置传感器。该传感器利用光源通过针孔形成点光源，点光源先通过平行光管形成平行光束，再通过起偏器获得线偏振光，将获得的线偏振光经1/4波片变成圆偏振光经物镜聚焦到物体表面，光线从物体表面反射经物镜、1/4波片、检偏器和小孔到达光电探测器，探测器产生一个最大输出电流信号，当物体不在焦平面位置时，由于小孔的限制，探测器的输出信号会变得非常弱，探测器的探测信号经后续的处理电路进行放大并经过比较电路转换成电压信号输出，通过观察输出的电压信号，可以获得物体的位置信息。本发明的优点在于测量时不需要接触物体、测量精度高、工作距离长、应用范围广等。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 接触 位置 传感器 | ||
【主权项】：
一种共聚焦非接触式位置传感器，其特征在于:包括处理电路（1）、光电探测器（2）、第一小孔（3）、检偏器（4）、半透半反镜（5）、1/4波片（6）、物镜（7）、起偏器（9）、平行光管（10）和光源（12）；垂直方向的处理电路（1）位于光电探测器（2）之前，第一小孔（3）放置在光电检测器（2）之前的像方焦平面位置，检偏器（4）放置在第一小孔（3）之前，半透半反镜（5）放置在检偏器（4）下方与垂直方向成45度角，1/4波片（6）放置在半透半反镜（5）下方，物镜（7）位于1/4波片（6）的下方，物镜（7）与驱动器相连，控制其在垂直方向上平移；水平方向的光源（12）位于第二小孔（11）之前，平行光管（10）放置在小孔后方，起偏器（9）放置在平行光管（10）后方；所有器件均共轴且点光源、物点和像点共轭；光源（12）通过针孔形成点光源，点光源先通过平行光管（10）形成平行光束，再通过起偏器（9）获得线偏振光，将获得的线偏振光经1/4波片（6）变成圆偏振光经物镜（7）会聚到被测物体表面，光线从物体表面反射经物镜（7）、1/4波片（6）和检偏器（4）到达探测器（2）。
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