[发明专利]一种利用TiO

摘要

本发明提供了一种利用球形粒子阵列辅助飞秒激光超衍射极限加工的方法，属于金属表面纳米孔加工领域。具体利用球形粒子阵列作为辅助诱导激光近场增强，进而实现飞秒激光超衍射纳米孔加工。这种方式在多种金属、非金属以及半导体材料表面均可以实现纳米孔的加工，其应用更具有通用性。与传统方法相比大幅度提高了纳米孔的加工效率，同时也降低了加工成本。本发明有望在金属表面超衍射极限纳米加工领域发挥重要作用。

主权项

1.一种利用TiO2粒子阵列辅助飞秒激光超衍射极限加工的方法，该方法由以下步骤组成：/n(1)首先在基底材料表面放置TiO2纳米球形粒子阵列，使粒子紧密排列，制作加工用靶材；/n(2)利用短脉冲激光作用于靶材表面；/n(3)通过控制激光参数和优化球形粒子尺寸，实现材料表面百纳米孔的加工；使用的短脉冲激光参数为：中心波长为400nm，圆偏振态，脉宽为35fs-100ps之间，激光入射角度为15°-90°之间；粒子材质为TiO2，几何结构为球体，选择的直径尺寸为300nm，排列方式为阵列的并且紧密的排列，将基底表面有无粒子情况下同一位置光强的比值定义为增强因子，即/n