[发明专利]一种吸片装置

摘要

本发明提出了一种吸片装置。该装置包括第一板和第二板，第一板为圆形板，其上设有抽气口，抽气口用于与真空产生装置连接；第二板的外周为圆形，第二板的第一表面设有向内部凹陷的环形凹槽，环形凹槽与第一板配合形成抽气室，抽气室与抽气口连通；第二板的第二表面中心设有向内部凹陷的圆形缓冲抽气腔，缓冲抽气腔的直径大于所述环形凹槽的内径并小于环形凹槽的外径，并且缓冲抽气腔的深度小于第二板的厚度与环行凹槽的深度之差；在抽气室和缓冲抽气腔之间设置有第一抽气孔，第一抽气孔将缓冲抽气腔与抽气室连通。本发明通过设置缓冲抽气腔，保证了第一抽气孔产生的吸附力不直接作用于晶片上，使得晶片的变形量小，不易形成压伤。

主权项

1.一种吸片装置，其特征在于，所述装置包括：第一板和第二板，所述第一板为圆形板，其上设有抽气口，所述抽气口用于与真空产生装置连接；所述第二板的外周为圆形，所述第二板的第一表面设有向内部凹陷的环形凹槽，所述环形凹槽与所述第一板配合形成抽气室，所述抽气室与所述抽气口连通；所述第二板的第二表面中心设有向内部凹陷的圆形缓冲抽气腔，所述缓冲抽气腔的直径大于所述环形凹槽的内径并小于环形凹槽的外径，并且所述缓冲抽气腔的深度小于第二板的厚度与所述环行凹槽的深度之差；在所述抽气室和所述缓冲抽气腔之间设置有第一抽气孔，所述第一抽气孔将所述缓冲抽气腔与所述抽气室连通。