[发明专利]一种基于热释电探测器的薄样品热导率测量装置及其方法有效
| 申请号： | 201710326047.0 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN107132246B | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 黎威志;陈金华;李方圆;李航;于贺;太惠玲 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 徐金琼;刘东 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于热释电探测器的薄样品热导率测量装置及其方法，属于薄样品热导率测量装置及其方法技术领域，解决测量薄样品的热导率时，操作复杂，测量速度慢，需要求得半温升时间，造成不能准确地测量薄样品的热导率的问题。本发明包括信号发生器、红外脉冲激光器、半反半透的分光镜、测试薄膜样品、测试热释电探测器、参考热释电探测器、示波器。信号发生器产生的信号控制红外脉冲激光器输出所需波形，半反半透的分光镜分为两束光，照射到带有待测材料的测试热释电探测器和参考热释电探测器得到电压响应信号。两路电压信号由于两路热导率的不同导致其响应有先后，通过响应的全升温时间差即可得到热导率，本发明用于测量薄膜样品的热导率。 | ||
| 搜索关键词： | 热释电探测器 热导率 热导率测量装置 信号发生器 红外脉冲 激光器 测量 分光镜 半透 两路 电压响应信号 测试 测量薄膜 测试薄膜 电压信号 信号控制 时间差 参考 示波器 响应 温升 照射 输出 | ||
【主权项】：
1.一种基于热释电探测器的薄样品热导率测量装置，其特征在于，包括：信号发生器(1)：用于发生方波脉冲信号和供电电压；红外脉冲激光器(2)：在信号发生器(1)提供的供电电压下，用于调制信号发生器(1)发出的方波脉冲信号，并输出方波信号；半反半透的分光镜(3)：用于将红外脉冲激光器(2)调制输出的方波信号分为两路功率相同的红外光信号；参考热释电传感器(6)：用于在半反半透的分光镜(3)分得的一路红外光信号的直接照射下，将照射的红外光信号转换为电压参考信号，并输出电压参考信号；测试热释电传感器(5)：用于在有待测薄样品(4)的情况下，将照射的半反半透的分光镜(3)分得的另一路红外光信号转换为电压信号，并输出电压信号；示波器(7)：用于测量参考热释电传感器(6)输出的电压参考信号和测试热释电传感器(5)输出的电压信号达到最大值时的时间差。
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