[发明专利]计算版图中线宽固定节距不同的线条的分布的方法

摘要

本发明提供一种计算版图中线宽固定节距不同的线条的分布的方法，从节距数值范围最小的节距最小段开始筛选每一段节距数值范围内的线条，逐渐将所有具有固定线宽的线条归类在不同节距段中，错综复杂的版图设计数据提取有效的版图设计线宽、节距，量化固定线宽不同节距的线条的分布，利用该分析结果判断工艺异常与线宽节距分布的相关性。

主权项

一种计算版图中线宽固定节距不同的线条的分布的方法，用于在原始版图设计中计算出节距在(0，D+S1]，(D+S1，D+S2]，……(D+Sn‑1，D+Sn]，(D+Sn，+∞)的线条的分布，其中D为线条的固定线宽，S1，S2，……Sn为所述原始版图设计数据中具有的节距，且0<S1<S2……<Sn<+∞，其特征在于，在原始版图设计中筛选出节距为(D+SX‑1，D+SX]中线条的分布的方法为选取固定线宽为D的线条中与自身距离最近且该距离符合(D+SX‑1，D+SX]的相邻线条，将所述相邻线条在该固定线宽为D的线条上投影，投影形成的线段即归类为节距为(D+SX‑1，D+SX]中的线条，记为Ax，其中x＝1,2……n。