[发明专利]一种多工位真空炉均匀加热及温控系统

摘要

本发明公开了一种多工位真空炉均匀加热及温控系统，包括钟罩，其特征在于，所述钟罩的内壁的顶端通过第一螺栓连接有若干顶部加热器，所述顶部加热器的中心通过第二螺栓连接有中心加热器，所述钟罩侧壁内侧通过第三螺栓连接有若干第一侧壁加热器，所述钟罩底部侧壁通过第四螺栓连接有若干第二侧壁加热器，所述顶部加热器、中心加热器、第一侧壁加热器和第二侧壁加热器分别集成K型热电偶，所述K型热电偶通过补偿导线与PID温控仪一端相连接，所述PID温控仪另一端通过固态继电器分别与顶部加热器、中心加热器、第一侧壁加热器和第二侧壁加热器相连接。本发明有益效果通过PID温控仪控温，温度控制准确，从而达到较高的温度均匀性。

主权项

一种多工位真空炉均匀加热及温控系统，包括钟罩(8)，其特征在于，所述钟罩(8)的内壁的顶端通过第一螺栓连接有若干顶部加热器(1)，所述顶部加热器(1)的中心通过第二螺栓连接有中心加热器(9)，所述钟罩(8)侧壁内侧通过第三螺栓连接有若干第一侧壁加热器(3)，所述钟罩(8)底部侧壁通过第四螺栓连接有若干第二侧壁加热器(5)，所述顶部加热器(1)、中心加热器(9)、第一侧壁加热器(3)和第二侧壁加热器(5)分别集成K型热电偶(11)，所述K型热电偶(11)通过补偿导线与PID温控仪(12)一端相连接，所述PID温控仪(12)另一端通过固态继电器(13)分别与顶部加热器(1)、中心加热器(9)、第一侧壁加热器(3)和第二侧壁加热器(5)相连接。