[发明专利]真空封装MEMS陀螺品质因子退化分析方法和系统有效
| 申请号： | 201710296071.4 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107144294B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 何春华;谷专元;黄钦文;林晓玲 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈金普 |
| 地址： | 510610 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空封装MEMS陀螺品质因子退化分析方法和系统，获取真空封装陀螺参数；根据热力学、流体力学和陀螺动力学原理对陀螺参数进行分析，得到陀螺驱动轴滑膜运动下和陀螺检测轴压膜运动下的品质因子的关系式；根据两种运动下的品质因子的关系式确定得到品质因子、自由运动气体个数、内部气压三者之间的关系式；根据热力学气体扩散原理确定得到自由运动气体个数随时间的变化方程；根据上述三者之间的关系式以及自由运动气体个数随时间的变化方程确定得到陀螺品质因子的退化模型；根据退化模型拟合得到模型参数，并根据退化模型和模型参数计算得到表征MEMS陀螺品质因子退化的特征时间并输出。为陀螺的试验方案提供参考依据，提高陀螺的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 陀螺 品质因子 退化模型 自由运动 真空封装 热力学 流体力学 退化 模型参数计算 动力学原理 陀螺驱动轴 参考依据 模型参数 内部气压 气体扩散 检测轴 滑膜 拟合 压膜 分析 输出 试验 | ||
【主权项】：
1.一种真空封装MEMS陀螺品质因子退化分析方法，其特征在于，包括以下步骤：/n获取真空封装MEMS陀螺参数；/n根据热力学、流体力学和陀螺动力学原理对所述真空封装MEMS陀螺参数进行分析，得到真空封装MEMS陀螺驱动轴滑膜运动下的品质因子的关系式，和真空封装MEMS陀螺检测轴压膜运动下的品质因子的关系式；/n根据所述真空封装MEMS陀螺驱动轴滑膜运动下的品质因子的关系式，和所述真空封装MEMS陀螺检测轴压膜运动下的品质因子的关系式确定得到品质因子、自由运动气体个数、内部气压三者之间的关系式；/n根据热力学气体扩散原理确定得到自由运动气体个数随时间的变化方程；/n根据所述品质因子、自由运动气体个数、内部气压三者之间的关系式以及所述自由运动气体个数随时间的变化方程确定得到真空封装MEMS陀螺品质因子的退化模型；/n根据所述真空封装MEMS陀螺品质因子的退化模型拟合得到模型参数，并根据所述退化模型和所述模型参数计算得到表征MEMS陀螺品质因子退化的特征时间并输出。/n
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