[发明专利]一种圆角三角形图形化衬底在审
| 申请号： | 201710295714.3 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN107039566A | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 梁宗文;王肖磊;孙智江 | 申请（专利权）人： | 海迪科（南通）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/22;H01L33/10 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙)11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 226500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种圆角三角形图形化衬底，包括一衬底，所述衬底表面有周期化凸起或凹陷图形，所述凸起或凹陷图形的底边为圆角三角形且紧致排列，即每个排列圆角三角形任一边的垂直平分线通过该圆角三角形与相应的相邻圆角三角形的中心，且相邻圆角三角形之间具有间隙，排列圆角三角形的任一边与相邻圆角三角形对应的边关于该间隙轴对称。本发明的优点在于本发明底边圆角三角形的任一边与相邻圆角三角形对应的边轴对称，在保持占空比不变并且紧致排列的情况下，具有更大的图形间隙，拓宽了外延的工艺窗口，提高产品的良率和可靠性；此外，圆角三角形较传统的尖角三角形，能够有效地促进在其上生长的外延层中位错弯曲及相互湮灭，提高外延层晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三角形 图形 衬底 | ||
【主权项】：
一种圆角三角形图形化衬底，其特征在于：包括一衬底，所述衬底表面有周期化凸起或凹陷图形，所述凸起或凹陷图形的底边为圆角三角形且紧致排列，即每个排列圆角三角形任一边的垂直平分线通过该圆角三角形与相应的相邻圆角三角形的中心，且相邻圆角三角形之间具有间隙，排列圆角三角形的任一边与相邻圆角三角形对应的边关于该间隙轴对称。
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