[发明专利]MXn 有效
| 申请号： | 201710285630.1 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN108807604B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 王宇;曹蔚然;李龙基 | 申请（专利权）人： | TCL科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/02;H01L33/06 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 李艳丽 |
| 地址： | 516006 广东省惠州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种MX |
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| 搜索关键词： | mx base sub | ||
【主权项】：
1.一种MXn薄膜的制备方法，包括以下步骤：提供MXm粉末，将所述MXm粉末分散在溶剂中，得到MXm分散液；在所述MXm分散液中加入(NH4)2X，搅拌或超声处理直至得到澄清的混合溶液；将所述混合溶液进行加热搅拌处理，得到多硫化物前驱体溶液，然后通过溶液加工法沉积膜层；将所述膜层在80‑120℃退火处理后，在还原或惰性气氛下，于250‑300℃条件下进行加热处理，得到MXn薄膜，其中，所述MXm、(NH4)2X、中，X为S、Se中的至少一种；所述MXm、MXn中，M为Mo、W、V、Nb、Ta中的一种，所述MXm中，m的取值范围为2≤m≤3；所述MXn中，n的取值范围为2≤n﹤3，且n≤m。
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