[发明专利]一种连续离子层吸附沉积法量子点制备装置及其方法

摘要

本发明公开了一种连续离子层吸附沉积法量子点制备装置及其方法，包括控制盒、固定螺杆、固定盖、旋转轴、盛液烧杯、连接轴、升降电机、升降杆、基片夹具；采用可编程步进电动机和单片机对实验过程中的关键参数如基底下降速度、浸渍时间、提拉时间、样品烘干速度、烘干温度、以及沉积次数等进行精确控制，连续可调；为高效率、大面积、均匀沉积量子点提供可行方案。本发明所述的连续离子层吸附沉积法量子点制备装置实现了量子点的高效、可靠、大面积制备。该技术将在实验室甚至工业生产中产生重要的影响和推动。

主权项

1.一种连续离子层吸附沉积法量子点制备装置，其特征在于包括控制盒（9）、固定螺杆（11）、固定盖（10）、旋转轴（5）、盛液烧杯（8）、连接轴（4）、升降电机（3）、升降杆（2）、基片夹具（1）；所述的控制盒（9）通过若干根固定螺杆（11）与固定盖（10）相连；旋转轴（5）一端通过轴承（6）与固定盖（10）固定，另一端与控制盒（9）内的步进电机相连，旋转轴（5）上固定安装有连接轴（4），旋转轴（5）自转时，带动旋转轴（5）转动，连接轴（4）与升降电机（3）相连，升降电机（3）上安装升降杆（2），升降杆（2）的前端安装基片夹具（1）；所述的盛液烧杯（8）设置在控制盒（9）上，盛液烧杯（8）与旋转轴（5）的距离等于升降杆（2）与旋转轴（5）的距离；所述的控制盒（9）包括总开关（12）、数字输入键盘（13）、液晶显示板（14）、电源接口（15）、稳压电源模块（19）、大功率步进电机驱动模块（20）、单片机（21）、步进电机（22）、升降电机驱动电路（23）；稳压电源模块（19）通过稳压输送线（17）分别与步进电机驱动模块（20）、单片机（21）、升降电机驱动电路（23）相连，电源接口（15）通过交流市电输送线（16）与稳压电源模块（19）相连，电源接口（15）受总开关（12）控制，单片机（21）通过数据线（18）分别与步进电机驱动模块（20）、升降电机驱动电路（23）、数字输入键盘（13）、液晶显示板（14）相连；步进电机驱动模块（20）与步进电机（22）电连接；升降电机驱动电路（23）与升降电机相连；所述的旋转轴（5）上安装有加热烘干模块（7），加热烘干模块（7）的热量传播方向朝向升降杆（2）。