[发明专利]一种半导体级丙二醇甲醚的制备方法在审
申请号: | 201710262152.2 | 申请日: | 2017-04-20 |
公开(公告)号: | CN108727164A | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 吴义彪;陈忠平;徐平 | 申请(专利权)人: | 江苏华伦化工有限公司 |
主分类号: | C07C41/34 | 分类号: | C07C41/34;C07C43/13 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 高姗 |
地址: | 225200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体级丙二醇甲醚(简称PM)的制备方法,以工业级丙二醇甲醚为原料,先通过高效精馏提纯,分子筛脱水,再通过混床树脂交换去除丙二醇甲醚中的金属离子和非金属离子离子,最后通过超滤得到半导体级丙二醇甲醚。本发明制备的产品重量含量≥99.99%、色度APHA≤10、水分≤50ppm、酸度≤10ppm、各单项金属离子<0.1ppb、各单项非金属离子<50ppb、尘埃颗粒<5pcs/ml,满足半导体器件制作工艺的要求。本发明工艺简洁,绿色环保,易实现连续化,操作安全,产品质量稳定,适合工业化。 | ||
搜索关键词: | 丙二醇甲醚 半导体级 制备 非金属离子 金属离子 半导体器件 分子筛脱水 操作安全 尘埃颗粒 高效精馏 混床树脂 绿色环保 制作工艺 质量稳定 工业级 连续化 提纯 超滤 色度 酸度 去除 离子 交换 | ||
【主权项】:
1.一种半导体级丙二醇甲醚的制备方法,以工业级丙二醇甲醚为原料,先通过高效精馏提纯,分子筛脱水,再通过混床树脂交换去除丙二醇甲醚中的金属离子和非金属离子,最后经过超滤得到半导体级丙二醇甲醚。
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