[发明专利]一种机械抛光工艺在审

专利信息
申请号: 201710260017.4 申请日: 2017-04-20
公开(公告)号: CN107116400A 公开(公告)日: 2017-09-01
发明(设计)人: 武行峰 申请(专利权)人: 合肥羿振电力设备有限公司
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00;C09G1/02;C23G1/14;C23G1/04;C23G1/24;C23C22/06
代理公司: 合肥道正企智知识产权代理有限公司34130 代理人: 张浩
地址: 230000 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提供的一种机械抛光工艺,包括机械抛光、碱洗、酸洗、水洗和干燥等步骤,利用抛光装置对待抛光样品进行机械抛光,形成抛光层,采用碱性溶液的清洗抛光层,再采用酸性的缓冲剂去除抛光层表面的残留物层,在去除残留物层之后,形成覆盖抛光层的钝化层,然后,通过喷嘴喷淋超纯水清洗抛光层,最后,对水洗后的抛光层进行干燥处理。本发明具有工艺简单、适合工业化生产的优势,抛光效率高,并且,抛光层表面的平整度高,长期稳定性好。
搜索关键词: 一种 机械抛光 工艺
【主权项】:
一种机械抛光工艺,其特征在于,包括机械抛光、碱洗、酸洗、水洗和干燥等步骤,具体工艺步骤如下:(1)、机械抛光:利用抛光装置对待抛光样品进行机械抛光,形成抛光层;(2)、碱洗:对上述抛光层采用碱性溶液的清洗;(3)、酸洗:再采用酸性的缓冲剂去除抛光层表面的残留物层,在去除残留物层之后,形成覆盖抛光层的钝化层;(4)、水洗:通过喷嘴喷淋超纯水清洗抛光层;(5)、干燥:对水洗后的抛光层进行干燥处理。
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