[发明专利]在衬底上印刷图案的方法和设备有效
| 申请号： | 201710218141.4 | 申请日： | 2013-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN106985515B | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | M·佳利亚佐;A·沃尔坦;A·卡萨林 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | B41F33/16 | 分类号： | B41F33/16 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明包括用于在衬底上印刷图案的方法和设备。所述方法包括：采集具有多个印刷轨迹的衬底表面的图像；以及识别在多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分的位置。所述方法进一步包括：通过比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及基于调整参数执行后续印刷操作。所述设备包括至少一个检查单元和计算机可读介质，所述计算机可读介质包含处理器执行一种用于印刷的方法的指令，所述方法包含：(i)识别印刷轨迹部分的位置；(ii)通过比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及(iii)基于调整参数执行后续印刷操作。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 印刷 图案 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于在衬底上印刷的设备，所述设备包括：至少一个检查单元，所述至少一个检查单元能够采集具有印刷在衬底上的多个印刷轨迹的所述衬底的表面区域的图像；以及计算机可读介质，所述计算机可读介质包含处理器执行一种用于在所述衬底上印刷图案的方法的指令，所述方法包括：借助于所述图像来识别所述多个印刷轨迹的印刷轨迹部分相对于所述衬底的至少一个侧面的位置，其中所述识别包括外推或重建所述衬底上的所述印刷轨迹的所述图案；通过比较所述印刷轨迹部分的所述位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数；以及基于所述调整参数执行后续印刷操作。
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