[发明专利]一种悬臂梁式薄膜压力发电结构在审
| 申请号： | 201710208013.1 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106966356A | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 闫树斌;李国洪;张志东;张彦军;冯登超;张勐;赵学峰;薛晨阳;张文栋 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙)14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于微机电系统领域，具体为一种悬臂梁式薄膜压力发电结构，包括框型基底，框型基底开口正对的梁上设有悬空在框型基底内的硅悬臂梁，硅悬臂梁的自由端固定有质量块，框型基底开口正对的梁上方还设有二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层上设有底电极层，底电极层上朝框型基底开口侧延伸有位于硅悬臂梁上方的条状底电极层，质量块上设有PZT压电层，PZT压电层朝二氧化硅绝缘层方向延伸有位于条状底电极层上方的条状PZT压电层，条状PZT压电层上方设有顶电极层。当系统处于振动环境中时,外界环境中的振动能传递到系统内,引起硅悬臂梁振动并弯曲变形,使硅悬臂梁储存机械能,从而引起压电层的伸缩进而产生电信号,实现了机械能到电能的转换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 薄膜 压力 发电 结构 | ||
【主权项】：
一种悬臂梁式薄膜压力发电结构,其特征在于包括框型基底（1），框型基底（1）的一侧开口，框型基底开口正对的梁上设有悬空在框型基底内的硅悬臂梁（2），硅悬臂梁（2）的自由端固定有质量块（3），框型基底开口正对的梁上方还设有二氧化硅绝缘层（4），二氧化硅绝缘层（4）上设有底电极层（5），底电极层（5）上朝框型基底开口侧延伸有位于硅悬臂梁上方的条状底电极层（5），质量块（3）上设有PZT压电层（6），PZT压电层（6）朝二氧化硅绝缘层方向延伸有位于条状底电极层上方的条状PZT压电层（6），条状PZT压电层上方设有顶电极层（7）。
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