[发明专利]一种硅基光子器件的自动对光装置及方法有效
| 申请号： | 201710190735.9 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN106932866B | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 金里;方俏然;周杰;赵恒;吴浩然;冯俊波;郭进 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42;G02B6/26 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 王林 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅基光子器件的自动对光装置及方法，将光纤探头在待测芯片表面划定区域内逐点进行二维扫描，所述并对相隔一定位置的点进行反射光功率的检测，所述划定区域包含目标器件和反射镜；划定区域扫描完成后，得到位置与光功率的对应信息，找到最大功率所在的坐标，该坐标即为反射镜的位置，同理获得与该反射镜相对称的另一个反射镜；反射镜的位置与目标器件的输入输出点相对位置固定，通过两个反射镜的位置找到目标器件的输入输出点，将输入输出光纤与目标器件的垂直耦合光栅结构对准即可。本发明操作简单，算法实现更加简单，大大简化了自动对光的过程，降低了系统的成本，且整个对光的时间较短，适合普通使用者操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光子 器件 自动 对光 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硅基光子器件的自动对光方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在待测芯片上制备至少两个相互对称的反射镜，所述反射镜结构的耦合光栅结构与芯片上的目标器件的耦合光栅结构相同；(2)将光纤在待测芯片表面划定区域内逐点进行二维扫描，并对相隔一定位置的点进行反射光功率的检测，所述划定区域包含目标器件和反射镜；(3)划定区域扫描完成后，得到位置与光功率的对应信息，找到最大功率所在的坐标，该坐标即为反射镜的位置，同理获得与该反射镜相对称的另一个反射镜；(4)反射镜的位置与目标器件的输入输出点相对位置固定，通过两个反射镜的位置找到目标器件的输入输出点，将输入输出光纤与目标器件的垂直耦合光栅结构对准即可。
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