[发明专利]MEMS麦克风及其形成方法有效
| 申请号： | 201710176077.8 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108622846B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 王伟;李鑫;周鸣;郑超 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS麦克风及其形成方法，所述MEMS麦克风包括：背极膜，所述背极膜包括第一面和第二面，所述背极膜包括功能区和包围所述功能区的支撑区；位于所述背极膜第一面上的振片膜，所述振片膜的机械强度大于所述背极膜的机械强度，所述功能区振片膜中具有振片孔，所述振片孔贯穿所述振片膜；位于所述支撑区的背极膜和振片膜之间的支撑件。所述振片膜的机械强度大于所述背极膜的机械强度，从而所述振片膜能够承受较大的应力，所述MEMS麦克风在使用过程中，不容易引起振片膜的断裂，从而能够增加MEMS的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：背极膜，所述背极膜包括相对的第一面和第二面，所述背极膜包括功能区和包围所述功能区的支撑区；位于所述背极膜第一面上的振片膜，所述振片膜的机械强度大于所述背极膜的机械强度，所述功能区振片膜中具有振片孔，所述振片孔贯穿所述振片膜，所述功能区振片膜与所述背极膜之间具有空隙；位于所述支撑区的背极膜和振片膜之间的支撑件。
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