[发明专利]MEMS麦克风及其形成方法在审
| 申请号： | 201710175110.5 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108622843A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 王伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS麦克风及其形成方法，所述MEMS麦克风包括：背极膜，所述背极膜包括相对的第一面和第二面，所述背极膜包括功能区和包围所述功能区的支撑区；位于所述背极膜第一面上的振片膜，所述功能区振片膜中具有第一振片孔，所述第一振片孔贯穿所述振片膜；位于所述第一振片孔中的隔离件，所述隔离件凸出于所述振片膜朝向背极膜的面；位于所述支撑区的背极膜和振片膜之间的支撑件。所述隔离件能够起到支撑所述振片膜和背极膜的作用，从而能够防止振片膜与所述背极膜接触，进而能够防止振片膜与所述背极膜相互吸附，影响MEMS麦克风的正常工作。 | ||
| 搜索关键词： | 振片 背极 隔离件 功能区 支撑区 第二面 膜接触 支撑件 吸附 包围 贯穿 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：背极膜，所述背极膜包括相对的第一面和第二面，所述背极膜包括功能区和包围所述功能区的支撑区；位于所述背极膜第一面上的振片膜，所述功能区振片膜中具有第一振片孔，所述第一振片孔贯穿所述振片膜，所述功能区振片膜与背极膜之间具有间隙；位于所述第一振片孔中的隔离件，所述隔离件凸出于所述振片膜朝向背极膜的面；位于所述支撑区的背极膜和振片膜之间的支撑件。
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