[发明专利]显影废液的二次废液中四甲基氢氧化铵的回收方法在审

专利信息
申请号: 201710173572.3 申请日: 2017-03-22
公开(公告)号: CN108623052A 公开(公告)日: 2018-10-09
发明(设计)人: 黄志铭;周圣原;张景棠 申请(专利权)人: 三福化工股份有限公司
主分类号: C02F9/06 分类号: C02F9/06;C02F9/10;C07C209/86;C07C211/63
代理公司: 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 代理人: 张秋越
地址: 中国台湾台北市*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种显影废液的二次废液中四甲基氢氧化铵的回收方法,包含一收集步骤、一第一调整步骤、一过滤步骤、一纯化步骤及一电解透析步骤。首先收集显影废液进行四甲基氢氧化铵回收后所产生的二次废液,并以酸液调整其酸碱值使得四甲基氢氧化铵离子与酸液形成四甲基铵盐水溶液,并让废光阻不溶于该二次废液中。接着该过滤步骤是过滤出废光阻而得到四甲基铵盐水溶液,再以一树脂塔纯化该四甲基铵盐水溶液中所含有的金属离子而得到四甲基铵盐水溶液。再进行该电解透析步骤使四甲基铵离子与相对离子分离而转化成四甲基氢氧化铵,而得到四甲基氢氧化铵水溶液。
搜索关键词: 四甲基氢氧化铵 四甲基铵盐 废液 显影废液 过滤 废光 回收 酸液 透析 电解 四甲基铵离子 调整步骤 金属离子 离子分离 树脂塔 不溶 酸碱 离子 转化
【主权项】:
1.一种显影废液的二次废液中四甲基氢氧化铵的回收方法,其特征在于,至少包含以下步骤:一收集步骤,是收集一显影废液进行四甲基氢氧化铵回收后所产生的二次废液;一第一调整步骤,以酸液调整该二次废液的酸碱值,使其pH值≤7,而使得该二次废液中的四甲基氢氧化铵离子与酸液形成四甲基铵盐水溶液,并使得废光阻不溶于该二次废液中;一过滤步骤,将调整过酸碱值的该二次废液进行过滤,以过滤出不溶于该二次废液的废光阻,而得到一不含有废光阻的四甲基铵盐水溶液;一纯化步骤,以一树脂塔纯化该四甲基铵盐水溶液中所含有的金属离子,而得到一不含有金属离子的四甲基铵盐水溶液;一电解透析步骤,使不含有金属离子的该四甲基铵盐水溶液中的四甲基铵离子与相对离子分离而转化成四甲基氢氧化铵,而得到一四甲基氢氧化铵水溶液;及一浓度调配步骤,使该四甲基氢氧化铵水溶液的浓度在2wt%至25wt%之间。
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