[发明专利]点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法

摘要

一种点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法，干涉仪的构成包括：光源、第一分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、点光源发生单元、理想波前发生单元、待测光学系统、精密调节台、小孔光窗器件、第二分光器、二维光电探测器和数据处理单元。本发明具有测量空间分辨率高、干涉条纹密度可调、能够利用相移、空间载波相移等多种干涉相位提取算法、能够标定干涉仪系统误差和干涉对比度可调等优点。

主权项

1.一种点衍射波像差检测干涉仪，其特征在于该干涉仪的构成包括：光源(1)、第一分光器(2)、第一光强与偏振态调节器(3)、相移器(4)、第二光强与偏振态调节器(5)、点光源发生单元(10)、理想波前发生单元(6)、待测光学系统(7)、精密调节台(8)、小孔光窗器件(9)、第二分光器(11)、二维光电探测器(12)和数据处理单元(13)，上述各部分的位置关系如下：在光源(1)输出光前进方向上是第一分光器(2)，第一分光器(2)将入射光分为光程可调光路(2A)和光程固定光路(2B)；在光程可调光路上依次是所述的第一光强与偏振态调节器(3)、相移器(4)、连接点光源发生单元(10)；所述的光程固定光路上依次是第二光强与偏振态调节器(5)、理想波前发生单元(6)；所述的理想波前发生单元(6)的输出端位于所述的待测光学系统(7)的物方视场点；所述的理想波前发生单元(6)的输出方向依次是待测光学系统(7)、位于所述的精密调节台(8)上的小孔光窗器件(9)、第二分光器(11)和二维光电探测器(12)，所述的小孔光窗器件(9)位于待测光学系统(7)的像面；所述的点光源发生单元(10)的输出光经第二分光器(11)被所述的二维光电探测器(12)探测，所述的二维光电探测器(12)的输出端与所述的数据处理单元(13)的输入端相连；所述的数据处理单元(13)的输出端分别与第一光强与偏振态调节器(3)、相移器(4)、第二光强与偏振态调节器(5)、精密调节台(8)的控制端通过电缆连接，所述的小孔光窗器件(9)包括滤波圆孔(9a)和透光窗口(9b)，所述的滤波圆孔(9a)是直径Φi小于待测光学系统(7)的像方衍射极限分辨率的透光小孔，满足Φi<λ/(2NAi)，其中λ为光源波长，NAi为待测光学系统的像方数值孔径；所述的透光窗口(9b)是能够无遮挡的透过所述的理想波前发生单元(6)的输出端(6B)经待测光学系统(7)成像后的像点弥散斑的四边形透光区域。