[发明专利]一种锌纳米线阵列电极制备方法有效
申请号: | 201710149567.9 | 申请日: | 2017-03-14 |
公开(公告)号: | CN106939413B | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 明海;张文峰;祝夏雨;张松通;曹高萍 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军63971部队 |
主分类号: | C23C16/06 | 分类号: | C23C16/06;B82Y40/00;H01L31/0224 |
代理公司: | 中国人民解放军防化研究院专利服务中心 11046 | 代理人: | 刘永盛 |
地址: | 100191 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种锌纳米线阵列电极的制备方法,属于纳米材料制备与微纳阵列电极设计领域。本发明提出的锌纳米线阵列电极的制备方法是通过球磨将含锌化合物与碳材料混合均匀;而后利用惰性气体将管式炉高温区的锌蒸气带到低温区的基片上形成规则排列的锌纳米线阵列。该方法无需精密仪器控制、无需昂贵原料,锌纳米线阵列致密均匀,长度与直径可通过反应时间控制;电极基底的沉积面积可控且基底也可更换,易于批量化生产,也可制备面积较大的阵列电极再切割成预定的尺寸使用。因此,该方法具有工艺简单、易规模化等优点且制备的锌纳米线阵列电极规则均匀致密,特别适合用于分析检测、柔性储能器件、太阳能电池和传感器等。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 阵列 电极 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种锌纳米线阵列电极制备方法,其特征在于锌纳米线阵列电极(4)制备方法步骤如下:将含锌化合物与碳材料以质量比为9~5∶1~5球磨混合0.15~2小时得到初料粉体(1);将初料粉体(1)置于刚玉坩埚中并放入双温区管式炉的第一温区(2);然后将一块铜、镍、铁、钛、铂、石墨、金、银、石英、刚玉或硅材质的基片置于双温区管式炉的第二温区(3);在惰性气体保护下,初料粉体(1)在双温区管式炉的第一温区(2)中以500~1100℃煅烧0.5~3小时,升温速率为1~60℃/min,放有基片的双温区管式炉的第二温区(3)温度设置为15~50℃;待反应完成自然冷却之后,即在基片上获得直径为0.005~1μm的锌纳米线阵列电极(4);所述含锌化合物为氧化锌、氢氧化锌、碳酸锌、乙酸锌中的一种以上;所述碳材料为活性炭、碳纤维、碳纳米管、生物质炭、石墨中的一种以上;所述研磨的转速为200~1000转/分,粉体粒径小于100目;所述基片的尺寸为长10~500毫米,宽10~500毫米,厚0.01~5毫米;所述基片在放入双温区管式炉的第二温区(3)之前用去离子水、乙醇反复清洗干净,光面朝上;所述惰性气体为氮气、氩气中的一种以上,流速为1~1000mL/min。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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