[发明专利]被加工物的内部检测装置和内部检测方法在审
| 申请号： | 201710145926.3 | 申请日： | 2017-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN107199409A | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 中村胜 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/40 | 分类号： | B23K26/40;B23K26/00;H01L21/301;H01L21/78;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供被加工物的内部检测方法和内部检测装置，不对晶片进行实际分割便能够对加工痕进行检测。该装置至少包含保持构件，其保持被加工物；照明构件，其向被加工物照射具备对于被加工物具有透过性的波长的光；拍摄构件，其拍摄被加工物；和反射镜，其与被加工物的侧面对置配设，将来自侧面的光反射而引导到拍摄构件，该方法包含保持工序，将被加工物保持在保持构件上；照明工序，向被加工物照射具备对于被加工物具有透过性的波长的光；反射镜定位工序，将反射镜定位在与被加工物的侧面对置的位置，将来自侧面的光反射而引导到拍摄构件；和加工痕检测工序，利用拍摄构件拍摄被加工物的侧面，对形成在被加工物的内部的加工痕进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 内部 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种被加工物的内部检测装置，其对因向被加工物照射激光光线而形成在内部的加工痕进行检测，其中，该被加工物的内部检测装置至少包含：保持构件，其对被加工物进行保持；照明构件，其向该被加工物照射具备对于该被加工物具有透过性的波长的光；拍摄构件，其对该被加工物进行拍摄；以及反射镜，其与该被加工物的侧面对置地配设，将来自该侧面的光反射而引导到该拍摄构件。
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