[发明专利]一种大型无尘室压差监测与调整方法

摘要

本发明公开了一种大型无尘室压差监测与调整方法,包括以下步骤(1)总线敷设，按照常规工艺对总线进行敷设；(2)压差测试点位置的选择，(3)安装导压管，(4)压差传感器及数据采集器的安装，(5)计算机处理进行数值比对；(6)在进行压差调整与控制前的检查后，根据压差显示、超差报警控制系统调整相关电动或手动风阀开度。通过压差传感器实现了测量数据的同步实时传输，极大的加快了测量的相应速度。同一洁净单元内按工艺需求设置测量点位置，确保气流体符合工艺需求。多个区域的压差数据传输至计算机，通过计算比较，直观反映了各区域压差情况。

主权项

一种大型无尘室压差监测与调整方法,其特征在于：包括以下步骤：(1)总线敷设，按照常规工艺对总线进行敷设；(2)压差测试点位置的选择，根据送回风口位置,选择气流相对稳定,瞬间波动影响较小的位置,使取压点相对稳定地反映房间的真实压差，测管口应设在无尘室内没有气流影响的地方，测管口平面应与气流方向平行；(3)安装导压管，按照常规工艺对导压管进行敷设，减少导压管长度，缩短路径，避免导压管弯曲度过小，造成瘪管，影响检测结果；(4)压差传感器及数据采集器的安装，在对压差传感器及数据采集器进行校准后进行安装，压差测量时采用便携式微压差计进行对比校正；(5)计算机处理进行数值比对；(6)在进行压差调整与控制前的检查后，根据压差显示、超差报警控制系统调整相关电动或手动风阀开度。