[发明专利]一种具有自修复功能的固态薄膜电容器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种具有自修复功能的固态薄膜电容器及其制备方法，该电容器包括衬底基片(1)、下部电极(2)、活性玻璃掺杂氧化铝薄膜(3)、上部电极(4)，所述的下部电极(2)涂覆在衬底基片(1)表面上，所述的活性玻璃掺杂氧化铝薄膜(3)设置在上部电极(4)和下部电极(2)之间。与现有技术相比，本发明具有结构和制备工艺简单，介电性能好，能够实现自修复，储能密度高，而且采用的是固态薄膜作为电介质，内部不存在电解液，因而使用安全可靠等优点。

主权项

1.一种具有自修复功能的固态薄膜电容器，其特征在于，该电容器包括衬底基片(1)、下部电极(2)、活性玻璃掺杂氧化铝薄膜(3)、上部电极(4)，所述的下部电极(2)涂覆在衬底基片(1)表面上，所述的活性玻璃掺杂氧化铝薄膜(3)设置在上部电极(4)和下部电极(2)之间；所述的活性玻璃掺杂氧化铝薄膜(3)通过以下方法制得：(1)制备玻璃溶胶前驱体：将正硅酸乙酯加入水、盐酸的酒精溶液中，常温混合搅拌，然后加入硼酸的酒精溶液，室温搅拌，得到硅硼玻璃溶胶；(2)将铝醇盐进行研磨，随后加入到醇醚溶剂中，60～70℃恒温搅拌30～60min，然后加入适量步骤(1)制得的硅硼玻璃溶胶，60～70℃恒温搅拌30～60min，再加入乙酰丙酮，70～80℃恒温搅拌30～60min，最后加入冰醋酸，于80～90℃恒温搅拌30～60min，待反应结束后，逐渐冷却至室温，过滤，制得活性玻璃掺杂氧化铝溶胶前驱体；(3)采用蒸发镀膜法或磁控溅射法在衬底基片上制备一层导电薄膜，作为下部电极；(4)将步骤(2)制得的活性玻璃掺杂氧化铝溶胶前驱体涂覆在步骤(3)制得的下部电极表面上，进行此过程5～7次，每次涂覆后进行预热处理，达到所需厚度后进行退火处理，制得活性玻璃掺杂氧化铝薄膜。