[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201710131034.8 | 申请日: | 2017-03-07 |
公开(公告)号: | CN107180860B | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 田中成明;冈彻 | 申请(专利权)人: | 丰田合成株式会社 |
主分类号: | H01L29/45 | 分类号: | H01L29/45;H01L29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 苗堃;金世煜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明提供一种减少制造时的繁琐度的技术。本发明的半导体装置具备:由含有镓的氮化物半导体形成的n型半导体区域、与上述n型半导体区域相接且由上述氮化物半导体形成的p型半导体区域、与上述n型半导体区域欧姆接触的第1电极、与上述p型半导体区域欧姆接触的第2电极,其中,上述第1电极和上述第2电极主要由相同的金属形成,上述相同的金属是选自钯、镍、铂中的至少一个金属,上述n型半导体区域的p型杂质浓度和上述p型半导体区域的p型杂质浓度实质上相同,上述n型半导体区域中,n型杂质浓度与p型杂质浓度之差为1.0×10 |
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搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,具备:由含有镓的氮化物半导体形成的n型半导体区域、与所述n型半导体区域相接且由所述氮化物半导体形成的p型半导体区域、与所述n型半导体区域欧姆接触的第1电极、与所述p型半导体区域欧姆接触的第2电极,所述第1电极和所述第2电极主要由相同的金属形成,所述相同的金属是选自钯、镍、铂中的至少一种金属,所述n型半导体区域的p型杂质浓度与所述p型半导体区域的p型杂质浓度实质上相同,在所述n型半导体区域中,n型杂质浓度与p型杂质浓度之差为1.0×1019cm-3以上。
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