[发明专利]半导体装置有效

专利信息
申请号: 201710131034.8 申请日: 2017-03-07
公开(公告)号: CN107180860B 公开(公告)日: 2020-08-28
发明(设计)人: 田中成明;冈彻 申请(专利权)人: 丰田合成株式会社
主分类号: H01L29/45 分类号: H01L29/45;H01L29/06
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 苗堃;金世煜
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种减少制造时的繁琐度的技术。本发明的半导体装置具备:由含有镓的氮化物半导体形成的n型半导体区域、与上述n型半导体区域相接且由上述氮化物半导体形成的p型半导体区域、与上述n型半导体区域欧姆接触的第1电极、与上述p型半导体区域欧姆接触的第2电极,其中,上述第1电极和上述第2电极主要由相同的金属形成,上述相同的金属是选自钯、镍、铂中的至少一个金属,上述n型半导体区域的p型杂质浓度和上述p型半导体区域的p型杂质浓度实质上相同,上述n型半导体区域中,n型杂质浓度与p型杂质浓度之差为1.0×1019cm‑3以上。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
一种半导体装置,具备:由含有镓的氮化物半导体形成的n型半导体区域、与所述n型半导体区域相接且由所述氮化物半导体形成的p型半导体区域、与所述n型半导体区域欧姆接触的第1电极、与所述p型半导体区域欧姆接触的第2电极,所述第1电极和所述第2电极主要由相同的金属形成,所述相同的金属是选自钯、镍、铂中的至少一种金属,所述n型半导体区域的p型杂质浓度与所述p型半导体区域的p型杂质浓度实质上相同,在所述n型半导体区域中,n型杂质浓度与p型杂质浓度之差为1.0×1019cm-3以上。
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