[发明专利]顶针、下电极装置

摘要

本发明提供了一种顶针、下电极装置，属于半导体技术领域。本发明的顶针，包括自上而下叠置固定的第一支撑体和第二支撑体；第一支撑体采用导电的非金属材料制成，第一支撑体用于支撑基片；第二支撑体采用金属材料制成，第二支撑体用于支撑第一支撑体以及与电荷释放单元相连，以将基片上的电荷经由第一支撑体和第二支撑体释放。本发明的顶针，能够避免因基片中的残留电荷导致的基片表面出现缺陷的现象，以及避免粘片导致的基片与机械手出现刮蹭，致使机械手臂损伤甚至会出现基片破碎的现象，以提高产品良率；同时，还能够提高顶针的强度，避免在装针的过程中的易发生脆性断裂。

主权项

1.一种顶针，其特征在于，包括自上而下叠置固定的第一支撑体和第二支撑体；所述第一支撑体采用导电的非金属材料制成，所述第一支撑体用于支撑基片；所述第二支撑体采用金属材料制成，所述第二支撑体用于支撑所述第一支撑体以及与电荷释放单元相连，以将所述基片上的电荷经由所述第一支撑体和所述第二支撑体释放。