[发明专利]一种提高微机电系统近红外光谱仪吸光度重复性的方法

摘要

本发明公开了一种提高微机电系统近红外光谱仪吸光度重复性的方法，通过静态相对增益矩阵确定微镜x方向偏转角、y方向偏转角，与不同驱动电压之间的配对关系，以样品光强度最大值对应的偏转角作为控制目标，设计解耦网络并采用PID控制算法，有效控制了MEMS微镜运行中的偏转角度，显著提高基于傅里叶变换型MEMS光谱仪的吸光度重复性，有助于提升近红外检测模型质量和预测精度。

主权项

1.一种提高微机电系统近红外光谱仪吸光度重复性的方法，其特征在于利用静态相对增益矩阵Λ确定变量配对关系，并进一步采用前馈解耦网络进行自动控制，具体步骤如下：1)建立微镜x方向偏转角θ_x、y方向偏转角θ_y，与驱动电压u₁、u₂之间的关系模型：通过改变驱动电压u₁和u₂，记录并分析微镜偏转角θ_x和θ_y的变化，确定：2)计算偏转角与驱动电压的静态相对增益矩阵Λ：3)根据静态相对增益矩阵Λ确定变量间的配对关系；4)采用前馈补偿法设计解耦网络；采用前馈补偿法采用下式进行解耦网络D₁₂(s)和D₂₁(s)的设计：5)设计闭环控制算法对微镜运行过程中的偏转角进行控制。