[发明专利]基板处理装置

摘要

设置有穿过用于处理基板的处理部的侧方并延伸的搬运路径。在被上述保持单元保持的收容器和处理部之间被搬运的基板通过搬运路径。第一搬运机械手对被上述保持单元保持的收容器进行基板的搬入和搬出，并接近配置于上述搬运路径内的交接区域。第二搬运机械手在交接区域与第一搬运机械手进行基板W的交接，并对处理部进行基板的搬入和搬出。升降第二搬运机械手的第二搬运机械手升降单元配置于搬运路径内。交接区域和第二搬运机械手升降单元位于第一搬运机械手和第二搬运机械手之间。

主权项

一种基板处理装置，其中，包括：保持单元，其保持收容基板的收容器，处理部，其处理基板，搬运路径，其穿过所述处理部的侧方并延伸，用于使在被所述保持单元保持的收容器和所述处理部之间搬运的基板通过，第一搬运机械手，其对被所述保持单元保持的收容器进行基板的搬入和搬出，并接近配置于所述搬运路径内的交接区域，第二搬运机械手，其在所述交接区域与所述第一搬运机械手进行基板的交接，并对所述处理部进行基板的搬入和搬出，以及第二搬运机械手升降单元，其配置于所述搬运路径内，用于升降所述第二搬运机械手；所述交接区域和所述第二搬运机械手升降单元位于所述第一搬运机械手和所述第二搬运机械手之间。