[发明专利]一种低振荡色散镜结构及其设计方法有效
| 申请号： | 201710105523.6 | 申请日： | 2017-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN106680911B | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王胭脂;刘加;陈宇;郭可升;朱晔新;王涛;朱美萍;张伟丽;王建国;赵娇玲;孙建;齐红基;易葵;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B1/10 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种低振荡色散镜结构设计，由下到上依次包括基底、啁啾膜系结构、超低折射率层。本发明在啁啾膜系结构的顶部添加一层超低折射率层，该超低折射率层由倾斜沉积技术实现，通过调节倾斜沉积的速率和角度可控制超低折射率层的折射率和厚度，使得啁啾膜系结构的折射率与空气层能够很好的匹配，从而能够大幅降低色散振荡。这种设计结构能够使不同带宽和色散量的色散镜的色散振荡都大幅减小，很好地满足了超快激光系统中用于脉冲压缩的低损耗、低振荡、大色散补偿量的色散镜设计需求。可应用于超快激光系统中(如啁啾脉冲放大技术以及光纤激光器)，是超快激光系统中所必不可少的色散补偿元件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 振荡 色散 结构 及其 设计 方法 | ||
【主权项】：
1.一种低色散振荡的色散镜结构，其特征在于，由下到上依次包括基底(1)、啁啾膜系结构(2)和超低折射率层(3)；所述的啁啾膜系结构(2)由高低折射率材料交替组成，所述的超低折射率层(3)由折射率和厚度可控制的SiO2材料组成，通过倾斜沉积在所述的啁啾膜系结构(2)上，所述的色散镜结构表达式为G/(HL)^n(HL)^m(HxLH)^k(LxHL)^kM/A，其中G为基底，H为光学厚度为λ/4的高折射率材料，L为光学厚度为λ/4的低折射率材料，n和m为高反射膜层的周期数，x为对称腔的厚度，k为对称腔的周期数，M为超低折射率层，A为空气层。
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