[发明专利]双旋子高频感应等离子发生器有效
| 申请号： | 201710104231.0 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN106817833B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 陈海群;陈连忠;董永晖;郑鲁平;马建平;刘祥;杨国铭;袁国伍;朱兴营;林国胜 | 申请（专利权）人： | 中国航天空气动力技术研究院 |
| 主分类号： | H05H1/28 | 分类号： | H05H1/28;H05H1/30 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 庞静 |
| 地址： | 100074 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 双旋子高频感应等离子发生器，内环气旋子、内环与外环旋子连接件、外环气旋子、固定罩、外石英管、外石英管紧固环和内石英管同轴布置；内环气旋子、外环气旋子为中空且外环面为旋转沟槽结构，外环气旋子沟槽旋转方向与内环气旋子旋转方向一致；内环气旋子与外环气旋子之间通过内环与外环旋子连接件固连；内石英管套在内环气旋子的旋转沟槽外环面并与外环气旋子之间通过阶梯限位；外石英管套在外环气旋子的旋转沟槽外环面并通过外石英管紧固环紧固；外环气旋子固定在固定罩的上部，固定罩的下部与辐射屏蔽仓的上部固连，外石英管与内石英管部分置于辐射屏蔽仓内；辐射屏蔽仓的下部连接发生器与喷嘴连接件；水冷电感线圈缠绕在位于辐射屏蔽仓内外石英管的外围，线圈末端接高频电源。 | ||
| 搜索关键词： | 旋子 高频 感应 等离子 发生器 | ||
【主权项】：
双旋子高频感应等离子发生器，其特征在于：包括内环气旋子(1)、内环与外环旋子连接件(2)、外环气旋子(3)、固定罩(4)、外石英管(6)、外石英管紧固环(5)、内石英管(7)、水冷电感线圈(8)、发生器与喷嘴连接件(9)、辐射屏蔽仓(10)；内环气旋子(1)、内环与外环旋子连接件(2)、外环气旋子(3)、固定罩(4)、外石英管(6)、外石英管紧固环(5)和内石英管(7)同轴布置；所述的内环气旋子(1)、外环气旋子(3)为中空且外环面为旋转沟槽结构，外环气旋子(3)沟槽旋转方向与内环气旋子旋转方向一致；内环气旋子(1)与外环气旋子(3)之间通过内环与外环旋子连接件(2)固连；内石英管(7)套在内环气旋子(1)的旋转沟槽外环面并与外环气旋子(3)之间通过阶梯限位；外石英管(6)套在外环气旋子(3)的旋转沟槽外环面并通过外石英管紧固环(5)紧固；外环气旋子(3)固定在固定罩(4)的上部，固定罩(4)的下部与辐射屏蔽仓(10)的上部固连，外石英管(6)与内石英管(7)部分置于辐射屏蔽仓(10)内；辐射屏蔽仓(10)的下部连接发生器与喷嘴连接件(9)；水冷电感线圈(8)缠绕在位于辐射屏蔽仓(10)内外石英管(6)的外围，线圈末端接高频电源。
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