[发明专利]一种锂电池用SiCO-碳纳米管复合薄膜电极有效
| 申请号： | 201710101329.0 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN106803570B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 廖宁波;周峰 | 申请（专利权）人： | 温州大学 |
| 主分类号： | H01M4/13 | 分类号： | H01M4/13;H01M4/36;H01M4/587;H01M4/139;H01M4/04 |
| 代理公司： | 杭州万合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33294 | 代理人： | 余冬 |
| 地址： | 325035 浙江省温州市瓯海经济*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种锂电池用SiCO‑碳纳米管复合薄膜电极，其特征在于：包括单晶硅基板（1），单晶硅基板（1）上依次设有TiN阻挡层（2）、Cu薄膜层（3）、CuO薄膜层（4）、SiCO薄膜层A（5）、Ni催化层（6）、碳纳米管层（7）和SiCO薄膜层B（8）。本发明不仅可以有效的提高电极的循环稳定性，而且单层膜厚度可以大大降低，又可以获得较大的薄膜体系厚度，从而改善材料在高倍率充放电时的电化学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锂电池 sico 纳米 复合 薄膜 电极 | ||
【主权项】：
1.一种锂电池用SiCO‑碳纳米管复合薄膜电极，其特征在于：包括单晶硅基板(1)，单晶硅基板(1)上依次设有TiN阻挡层(2)、Cu薄膜层(3)、CuO薄膜层(4)、SiCO薄膜层A(5)、Ni催化层(6)、碳纳米管层(7)和SiCO薄膜层B(8)；所述TiN阻挡层(2)的厚度均为95‑105nm；所述Cu薄膜层(3)的厚度为290‑310nm，CuO薄膜层(4)的厚度为95‑105nm；所述SiCO薄膜层A(5)的厚度为190‑210nm；所述Ni催化层(6)的厚度为45‑55nm；所述碳纳米管层(7)的厚度为95‑105nm；所述SiCO薄膜层B(8)的厚度为190‑210nm。
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