[发明专利]一种用于制备低漏电高介电绝缘材料的前驱体溶液的制备方法及其应用有效

专利信息
申请号: 201710092981.0 申请日: 2017-02-21
公开(公告)号: CN107017345B 公开(公告)日: 2019-05-21
发明(设计)人: 陆旭兵;严龙森;刘俊明 申请(专利权)人: 华南师范大学
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/00
代理公司: 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 代理人: 吴静芝
地址: 510006 广东省广州市番禺区广州大*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种用于制备低漏电高介电绝缘材料的前驱体溶液的制备方法,包括以下步骤:1)配制摩尔浓度为0.05~0.1mol/L的乙酰丙酮金属盐原溶液;2)掺杂O2:在步骤1)制得的原溶液中通入1~60min O2;3)制备前驱体溶液:密封步骤2)得到的溶液,并在水浴加热条件下搅拌6~24h;4)后处理:将反应完全的前驱体溶液通过滤嘴过滤。相比于现有技术,采用本发明所述的前驱体溶液的制备方法制得的前驱体溶液可生成更均匀的薄膜;在制备多层薄膜时,该前驱体溶液所制备的绝缘层薄膜更加耐压,在多层的薄膜旋涂中可以更加的均匀致密,更加适合于大面积绝缘层的工业生产。本发明还提供一种采用所述前驱体溶液制得的低漏电高介电绝缘材料及其制备方法。
搜索关键词: 一种 用于 制备 漏电 高介电 绝缘材料 前驱 溶液 方法 及其 应用
【主权项】:
1.一种用于制备低漏电高介电绝缘材料的前驱体溶液的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:1)以乙酰丙酮金属盐为溶质,N,N‑二甲基甲酰胺为溶剂配制摩尔浓度为0.05~0.1mol/L的乙酰丙酮金属盐原溶液;2)掺杂O2:在步骤1)制得的原溶液中通入1~60min O2;3)制备前驱体溶液:密封步骤2)得到的溶液,并在水浴加热条件下搅拌6~24h;4)后处理:将反应完全的前驱体溶液通过滤嘴过滤。
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