[发明专利]一种用于制备低漏电高介电绝缘材料的前驱体溶液的制备方法及其应用有效
申请号: | 201710092981.0 | 申请日: | 2017-02-21 |
公开(公告)号: | CN107017345B | 公开(公告)日: | 2019-05-21 |
发明(设计)人: | 陆旭兵;严龙森;刘俊明 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
主分类号: | H01L51/05 | 分类号: | H01L51/05;H01L51/00 |
代理公司: | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人: | 吴静芝 |
地址: | 510006 广东省广州市番禺区广州大*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于制备低漏电高介电绝缘材料的前驱体溶液的制备方法,包括以下步骤:1)配制摩尔浓度为0.05~0.1mol/L的乙酰丙酮金属盐原溶液;2)掺杂O2:在步骤1)制得的原溶液中通入1~60min O2;3)制备前驱体溶液:密封步骤2)得到的溶液,并在水浴加热条件下搅拌6~24h;4)后处理:将反应完全的前驱体溶液通过滤嘴过滤。相比于现有技术,采用本发明所述的前驱体溶液的制备方法制得的前驱体溶液可生成更均匀的薄膜;在制备多层薄膜时,该前驱体溶液所制备的绝缘层薄膜更加耐压,在多层的薄膜旋涂中可以更加的均匀致密,更加适合于大面积绝缘层的工业生产。本发明还提供一种采用所述前驱体溶液制得的低漏电高介电绝缘材料及其制备方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 制备 漏电 高介电 绝缘材料 前驱 溶液 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
1.一种用于制备低漏电高介电绝缘材料的前驱体溶液的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:1)以乙酰丙酮金属盐为溶质,N,N‑二甲基甲酰胺为溶剂配制摩尔浓度为0.05~0.1mol/L的乙酰丙酮金属盐原溶液;2)掺杂O2:在步骤1)制得的原溶液中通入1~60min O2;3)制备前驱体溶液:密封步骤2)得到的溶液,并在水浴加热条件下搅拌6~24h;4)后处理:将反应完全的前驱体溶液通过滤嘴过滤。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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