[发明专利]剥离可挠性基板的方法在审
| 申请号： | 201710092679.5 | 申请日： | 2017-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN108608719A | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 吴政哲 | 申请（专利权）人： | 台湾格雷蒙股份有限公司;铕晟事业股份有限公司 |
| 主分类号： | B32B38/10 | 分类号： | B32B38/10 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾台北市松*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种剥离可挠性基板的方法，其包括以下步骤：使可挠性基板剥离装置与可挠性基板接触。至少一次抽取可挠性基板剥离装置中的气体。若总抽气量达到最大抽气量后仍无法将可挠性基板剥离，则至少一次下压可挠性基板剥离装置，且等待一默认时间看是否能将可挠性基板剥离。若可挠性基板剥离装置的总下压量达到最大下压量，且直至预设时间仍无法将可挠性基板剥离，则升起可挠性基板剥离装置。本发明的剥离可挠性基板的方法，可因应离型力的差异调整可挠性基板剥离装置的吸附力。 | ||
| 搜索关键词： | 可挠性基板 剥离装置 剥离 抽气量 下压量 差异调整 离型力 吸附力 下压 预设 抽取 | ||
【主权项】：
1.一种剥离可挠性基板的方法，其特征在于，包括：步骤A，使可挠性基板剥离装置与所述可挠性基板接触；步骤B，抽取所述可挠性基板剥离装置中的气体；步骤C，判断所述可挠性基板剥离装置的形变部的形变量是否达到预设形变量，若达到所述预设形变量，则执行步骤D，若未达到所述预设形变量，则执行步骤E；步骤D，升起所述可挠性基板剥离装置；步骤E，判断总抽气量是否达到最大抽气量，若未达到所述最大抽气量，则依序执行步骤B与步骤C，若达到所述最大抽气量，则依序执行步骤F与步骤G；步骤F，下压所述可挠性基板剥离装置；步骤G，判断所述可挠性基板剥离装置的所述形变部的形变量是否达到所述预设形变量，若达到所述预设形变量，则执行步骤D，若未达到所述预设形变量，则执行步骤H；步骤H，在预设时间内，判断所述可挠性基板剥离装置的所述形变部的形变量是否达到所述预设形变量，若达到所述预设形变量，则执行步骤D，若未达到所述预设形变量，则执行步骤I；步骤I，判断所述可挠性基板剥离装置的总下压量是否达到最大下压量，若未达到所述最大下压量，则依序执行步骤F与步骤G，若达到所述最大下压量，则执行步骤J；以及步骤J，升起所述可挠性基板剥离装置。
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