[发明专利]防尘薄膜组件收纳容器有效
申请号: | 201710083586.6 | 申请日: | 2017-02-16 |
公开(公告)号: | CN107102512B | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 关原一敏 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | G03F1/66 | 分类号: | G03F1/66 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 胡强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种收纳没有剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器,其随时间的变化起因以及制造起因的尺寸误差的影响小,其管理运用容易的防尘薄膜组件收纳容器。本发明的防尘薄膜组件收纳容器为由防尘薄膜组件收纳容器本体和嵌合于防尘薄膜组件收纳容器本体而密闭的盖体构成的且收纳无剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器,在防尘薄膜组件收纳容器本体上设置支持掩模具有粘着剂层涂布区域以及未涂布区域的防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件框架支持装置和固定器保持装置,在防尘薄膜组件框架支持装置支持防尘薄膜组件框架的掩模粘着剂层未涂布区域的同时,固定器保持装置保持被插在设于防尘薄膜组件框架的外侧面的沟中的板状框架固定器。 | ||
搜索关键词: | 防尘 薄膜 组件 收纳 容器 | ||
【主权项】:
一种防尘薄膜组件收纳容器,它由防尘薄膜组件收纳容器本体和嵌合于该防尘薄膜组件收纳容器本体而密闭的盖体构成并且收纳没有剥离片的防尘薄膜组件,其特征在于,在所述防尘薄膜组件收纳容器本体上,设置支持具有掩模粘着剂层涂布区域以及未涂布区域的防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件框架支持装置和固定器保持装置,在所述防尘薄膜组件框架支持装置支持所述防尘薄膜组件框架的掩模粘着剂层未涂布区域的同时,所述固定器保持装置保持被插在设于所述防尘薄膜组件框架的外侧面的沟中的板状框架固定器。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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