[发明专利]一种超导强场磁控溅射阴极的绝缘绝热和密封结构有效
| 申请号： | 201710073591.9 | 申请日： | 2017-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN106801217B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 邱清泉;汪天龙;屈飞;靖立伟;张国民;肖立业 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;F16J15/10;F16L59/065 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种超导强场磁控溅射阴极的绝缘绝热和密封结构，包括超导线圈(1)、磁轭、玻璃钢垫片(5、6)、杜瓦、玻璃钢套管(10)、大四氟垫圈(11)、不锈钢垫圈(12)、小四氟垫圈(13)及阴极托架(14)；超导线圈(1)与杜瓦端盖(7)和底磁轭(4)之间用玻璃钢垫片(5、6)支撑和绝缘，杜瓦底座(8)采用真空夹层结构或填充发泡材料以降低热损耗；杜瓦底座(8)和不锈钢垫圈(12)之间采用大四氟垫圈(11)配合密封圈密封和绝缘，大四氟垫圈(11)、不锈钢垫圈(12)、小四氟垫圈(13)和杜瓦底座(8)之间采用玻璃钢螺栓或带玻璃钢绝缘套管的金属螺栓紧固；不锈钢垫圈(12)和阴极托架(14)之间采用密封圈密封并用普通金属螺栓紧固。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超导 磁控溅射 阴极 绝缘 绝热 密封 结构 | ||
【主权项】：
1.一种超导强场磁控溅射阴极的绝缘绝热和密封结构，其特征在于：所述的超导强场磁控溅射阴极的绝缘绝热和密封结构由超导线圈(1)、内磁轭(2)、外磁轭(3)、底磁轭(4)、第一玻璃钢垫片(5)、第二玻璃钢垫片(6)、杜瓦端盖(7)、杜瓦底座(8)、通电导体(9)、玻璃钢套管(10)、大四氟垫圈(11)、不锈钢垫圈(12)、小四氟垫圈(13)，以及阴极托架(14)构成；外磁轭(3)位于内磁轭(2)的外部，底磁轭(4)位于内磁轭(2)和外磁轭(3)的底部，超导线圈(1)安装在内磁轭(2)、外磁轭(3)和底磁轭(4)之间；所述的超导线圈(1)、内磁轭(2)、外磁轭(3)和底磁轭(4)安装在杜瓦端盖(7)和杜瓦底座(8)包围的空间中；大四氟垫圈(11)位于杜瓦底座(8)的下方，不锈钢垫圈(12)位于大四氟垫圈(11)的下方，小四氟垫圈(13)安装在杜瓦底座(8)的下方；阴极托架(14)安装在不锈钢垫圈(12)的下方、小四氟垫圈(13)的外部，用于支撑磁控溅射阴极；超导线圈(1)与杜瓦端盖(7)之间采用第一玻璃钢垫片(5)支撑和绝缘，超导线圈(1)与和底磁轭(4)之间采用第二玻璃钢垫片(6)支撑和绝缘，通电导体(9)与杜瓦底座(8)之间采用玻璃钢套管(10)进行绝缘；杜瓦底座(8)采用真空夹层结构或填充发泡材料，以降低热损耗，便于采用常温密封结构进行真空密封。
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