[发明专利]掩膜组件有效
| 申请号： | 201710072336.2 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN106801215B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 周淑金 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 215634 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩膜组件。该掩膜组件包括：碳纤维材料层，具有第一镂空区域；第一金属层，设置于碳纤维材料层的至少一侧表面，且第一金属层具有与第一镂空区域对应的第二镂空区域。由于碳纤维材料层具有低膨胀和高强度的特性，从而在应用上述掩膜组件时不仅降低了工艺中温度变化对其可靠性的影响，还减少了上述温度变化导致的掩膜组件中镂空图案的尺寸变化；并且，通过上述第一金属层能够使掩膜组件具有平滑表面，从而避免了在蒸发、溅射或印刷等制备工艺时材料在掩膜组件表面的堆积，进而省去了后续为去除上述堆积材料的刮除工序以及刮除工序带来的损伤，使掩膜组件同时满足了高强度和高精度的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 | ||
【主权项】：
一种掩膜组件，其特征在于，包括：碳纤维材料层(10)，具有第一镂空区域；第一金属层(20)，设置于所述碳纤维材料层(10)的至少一侧表面，且所述第一金属层(20)具有与所述第一镂空区域对应的第二镂空区域。
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