[发明专利]一种Er掺杂的氮化铝压电薄膜材料在审
| 申请号： | 201710062647.0 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN106835016A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 杨成韬;泰智薇;胡现伟;牛东伟;唐佳琳 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/24;C23C14/28 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Er掺杂的氮化铝压电薄膜材料，涉及压电薄膜材料领域。本发明材料的化学式为ErxAl1‑xN，其中，x为Er的含量，1‑x为AlN的含量，x≦0.5。本发明采用现有薄膜制备技术，在多种可选择衬底上沉积生长Er掺杂的AlN压电薄膜，在不增加工艺难度的基础上通过Er掺杂AlN后薄膜结构的改变来尽可能的提升AlN薄膜的压电性能，在压电薄膜材料技术领域具有良好的推广应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 er 掺杂 氮化 压电 薄膜 材料 | ||
【主权项】：
一种Er掺杂的氮化铝压电薄膜材料，其特征在于，所述Er掺杂的氮化铝压电薄膜材料的化学式为ErxAl1‑xN，其中，x为Er的含量，1‑x为AlN的含量，x≦0.5。
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