[发明专利]扩散速率受限的热化学气相沉积涂层在审
| 申请号： | 201710053666.7 | 申请日： | 2017-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN107267955A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | T·F·韦扎;S·A·孔多;N·P·德斯科维奇;J·B·马特泽拉;P·H·希尔维斯 | 申请（专利权）人： | 西尔科特克公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/42;C23C16/52 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了热化学气相沉积涂布制品和热化学气相沉积方法。所述制品包括基材和基材上的热化学气相沉积涂层。热化学气相沉积涂层包括通过扩散速率受限的热化学气相沉积产生的特性。热化学气相沉积方法包括将气态物质引入容器并且通过气态物质的扩散速率受限的反应在容器内在制品上产生热化学气相沉积涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 速率 受限 热化学 沉积 涂层 | ||
【主权项】：
一种制品，包括：基材，和基材上的热化学气相沉积涂层；其中所述热化学气相沉积涂层包括由扩散速率受限的热化学气相沉积产生的特性。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
