[发明专利]薄膜热敏电阻的调阻方法及薄膜式热敏电阻的制造方法有效
| 申请号： | 201710051114.2 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN106782951B | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 吕喆;沓世我;何怡飞;朱佩;李鹏章;罗俊尧 | 申请（专利权）人： | 广东风华高新科技股份有限公司;风华研究院（广州）有限公司;哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01C7/04 | 分类号： | H01C7/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 徐春祺 |
| 地址： | 526020 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜热敏电阻的调阻方法和制造方法。该调阻方法用于在薄膜热敏电阻的生产过程中对得到的热敏电阻阵列进行阻值修调，包括：测量所述热敏电阻阵列中各个片阻的阻值和温度，并计算各片阻与目标阻值的偏差；以所述片阻的元件模型和调阻机的光斑参数为基础，通过模拟计算获得片阻上的蚀坑数量、位置与片阻的阻值增加率的关系，并进行多项式拟合得到多项式系数后保存到数据库中；根据调阻机的光斑参数和所述偏差，从数据库中搜索对应的多项式系数，并通过插值计算，确定阻值修调策略；调阻机根据所述修调策略进行打点完成调阻。上述热敏电阻的调阻方法和制造方法，可以实现快速而精准的激光调阻，有助于提高薄膜热敏电阻阻值精度和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 热敏电阻 方法 制造 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜热敏电阻的调阻方法，用于在薄膜热敏电阻的生产过程中对得到的热敏电阻阵列进行阻值修调，包括：测量所述热敏电阻阵列中各个片阻的阻值和温度，并计算各片阻与目标阻值的偏差；以所述片阻的元件模型和调阻机可能实现的光斑参数为基础，通过模拟计算获得片阻上的蚀坑数量、位置与片阻的阻值增加率的关系，并进行多项式拟合得到多项式系数后保存到数据库中；根据片阻元件模型、调阻机的实际光斑参数和所述偏差，从数据库中搜索对应的多项式系数，并通过插值计算，确定阻值修调策略；调阻机根据所述修调策略进行打点完成调阻。
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