[发明专利]一种高灵敏度电容型柔性压力传感器有效
| 申请号： | 201710042874.7 | 申请日： | 2017-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN106813811B | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 潘力佳;汪俊;程文;马仲;施毅 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;A61B5/024 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高灵敏度的电容型柔性压力传感器，具有多层次微结构材料，附着于多层次微结构材料表面上为电容器上电极、电介质材料和电介质材料下表面的电容器下电极；多层次微结构材料和电介质材料平面平行叠合；所述多层次微结构材料，多层次微结构材料为如下结构：纵截面的形状为面分布且排列的若干金字塔形或边缘平滑的类金字塔形、半球形、椭球形、圆锥形、V字形形状；多层次微结构材料采用聚合物弹性材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 电容 柔性 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种电容型柔性压力传感器，其特征在于：包括多层次微结构材料，附着于多层次微结构材料表面上的电容器上电极，电介质材料和电介质材料下表面的电容器下电极；多层次微结构材料和电介质材料平面平行叠合；所述多层次微结构材料为如下结构：纵截面的形状为面分布且排列的若干金字塔形或边缘平滑的类金字塔形、半球形、椭球形、圆锥形、V字形形状；多层次微结构材料采用聚合物弹性材料；所述多层次，纵截面的形状存在大小不一多种尺寸微结构材料，使得在受压过程中大尺寸微结构先发生形变；随着压力增大，多层次微结构材料发生形变，实现压力的测量范围增大。
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