[发明专利]导电层、薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置有效
申请号: | 201710040583.4 | 申请日: | 2017-01-20 |
公开(公告)号: | CN106684122B | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 李海旭 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/12 | 分类号: | H01L29/12;H01L29/43;H01L29/66;H01L29/786;H01L21/28 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 滕一斌 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种导电层、薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置,属于显示器领域。所述导电层包括:一金属层,以及覆盖在所述金属层上的有机磷‑金属络合物。通过在金属表面制成有机磷‑金属络合物,一方面,有机磷‑金属络合物具有导电性并能够阻止金属表面与氧气接触,在作为TFT中的电极的材料时,能够在不影响电极性能的前提下避免金属氧化;另一方面,有机磷‑金属络合物可增加金属与光刻胶的结合力,避免光刻胶剥离,从而防止刻蚀液对不需要刻蚀位置的金属造成腐蚀。从而能够提高电极的稳定性及电子传输性能。 | ||
搜索关键词: | 导电 薄膜晶体管 及其 制作方法 阵列 显示装置 | ||
【主权项】:
一种导电层,其特征在于,所述导电层包括:一金属层,以及覆盖在所述金属层上的有机磷‑金属络合物。
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