[发明专利]热损失型风速传感器及其制备方法和检测方法

摘要

本发明公开一种热损失型风速传感器，包括绝缘衬底，布置在绝缘衬底背面的加热电感线圈，以及布置在绝缘衬底正面且与加热电感线圈位置正对应的发热电感线圈；绝缘衬底正面上设有二氧化硅层，发热电感线圈的两个线端在二氧化硅薄层中连接，以形成闭合回路。同时还公开这种热损失型风速传感器的制备方法和基于这种热损失型风速传感器的风速检测方法。实现了正面感风，提高风速传感器的灵敏度，降低风速传感器的功耗；且通过正背面的电感线圈互相作用，解决引线问题，实现正面无线加热和无线测温，避免了键合线技术和衬底通孔技术。

主权项

1.一种热损失型风速传感器的制备方法，其特征在于：第一阶段：制作发热电感线圈的金属连接线，先后实施如下步骤：在准备的玻璃衬底的正面生长二氧化硅层；在二氧化硅层上方旋涂光刻胶并固化；利用光刻技术去除正面需要生长金属部分的光刻胶；刻蚀需要生长金属连接线位置的二氧化硅层；溅射金属材料；泡入丙酮溶液中，剥离后形成金属连接线；第二阶段：制作正面的发热电感线圈，先后实施如下步骤：在二氧化硅层上方旋涂光刻胶并固化，刻蚀出需要生长金属的部分；溅射金属材料；泡入丙酮溶液中，剥离，形成衬底正面的发热电感线圈；第三阶段：制作背面的发热电感线圈，先后实施如下步骤：在衬底背面旋涂光刻胶，固化；利用光刻技术去除背面需要生长金属部分的光刻胶；溅射金属材料；泡入丙酮溶液中，剥离，形成衬底背面的加热电感线圈。