[发明专利]椭球面反射镜近焦点高精度定位装置与方法

摘要

本发明椭球面反射镜近焦点高精度定位装置与方法属于光学共焦显微技术领域和光学精密测量领域；该装置由用于对椭球面反射镜远焦点高精度定位的下光路，以及用于对椭球面反射镜远焦点高精度定位的上光路组成；该方法首先利用下光路进行椭球面反射镜远焦点定位，然后利用上光路进行椭球面反射镜近焦点定位；本发明首先充分利用椭球面反射镜双焦点共轭的特殊性质，提供一种定位椭球面反射镜远焦点的技术手段，然后通过成像技术手段，实现对椭球面反射镜近焦点高精度定位，为精密装调椭球面反射镜提供技术手段，减小椭球面反射镜的慧差和像散，对椭球面反射镜在光学共焦显微技术领域和光学精密测量领域中的应用和发展起到促进作用。

主权项

1.椭球面反射镜近焦点高精度定位装置，其特征在于，包括激光器(1)、准直扩束器(2)、衰减片(3)、远焦点CCD(4)、管镜(5)、分光镜(6)、平面反射镜(7)、远焦点聚焦物镜(8)、椭球面反射镜(9)、镀膜样品(10)、连接台(11)、近焦点聚焦物镜(12)、压电陶瓷(13)、X‑Y轴精密驱动台(14)、近焦点CCD(15)和六自由度工作台(16)；激光器(1)、准直扩束器(2)、衰减片(3)、远焦点CCD(4)、管镜(5)、分光镜(6)、平面反射镜(7)和远焦点聚焦物镜(8)组成下光路，设置在六自由度工作台(16)上；其中，平面反射镜(7)与六自由度工作台(10)成45度角；激光器(1)发出的激光束经过准直扩束器(2)后形成平行光，再经过衰减片(3)衰减、分光镜(6)透射、平面反射镜(7)反射以及远焦点聚焦物镜(8)汇聚后，照射到椭球面反射镜(9)的内表面；被椭球面反射镜(9)两次反射的光束，再次经过远焦点聚焦物镜(8)汇聚、平面反射镜(7)反射、分光镜(6)反射、管镜(5)汇聚后，由远焦点CCD(4)成像；椭球面反射镜(9)、连接台(11)、近焦点聚焦物镜(12)、压电陶瓷(13)、X‑Y轴精密驱动台(14)和近焦点CCD(15)组成上光路，单独设置在远焦点聚焦物镜(8)的上方；镀膜样品(10)设置在近焦点聚焦物镜(12)下方。