[发明专利]转印装置及转印方法

摘要

一种转印装置及转印方法，该转印装置包括转移衬底以及阵列排布的多个夹取构件，多个夹取构件设置在转移衬底上，并且每个夹取构件包括至少两个夹取臂，夹取臂的第一端设置在转移衬底上；夹取脚，夹取脚与夹取臂的第二端相连，夹取脚被配置为在夹取位置和松开位置之间切换。该转印装置对目标器件具有较强的夹取能力，对目标器件损伤小，并且还可以实现对全部或部分目标器件的转印。

主权项

1.一种转印装置，包括：转移衬底；阵列排布的多个夹取构件，设置在所述转移衬底上，所述夹取构件被配置为夹取目标器件，其中，每个所述夹取构件包括：至少两个夹取臂，所述夹取臂的第一端设置在所述转移衬底上；夹取脚，所述夹取脚与所述夹取臂的第二端相连，所述夹取脚被配置为在夹取位置和松开位置之间切换，其中，所述夹取脚被配置为在夹取位置和松开位置之间切换包括：所述夹取脚相对于所述夹取臂运动至所述夹取位置或所述松开位置，所述夹取脚相对于所述夹取臂运动至所述夹取位置包括所述夹取脚运动至所述目标器件远离所述转移衬底的一侧，且所述夹取脚被配置为托起所述目标器件，所述夹取脚相对于所述夹取臂运动至所述松开位置包括所述夹取脚在所述转移衬底上的正投影位于与所述目标器件在所述转移基板上的正投影以外的区域。