[发明专利]一种离子注入设备有效
| 申请号： | 201710007968.0 | 申请日： | 2017-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN106887374B | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张豪峰;陈建荣;任思雨;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/317 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 章兰芳 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子注入设备，设有用于产生离子的离子源和用于引出离子束的引出电极系统，所述引出电极系统的电极板上设有离子束引出口；其特征在于：引出电极系统的外壁设置有螺旋线圈，所述螺旋线圈持续通入直流电，形成沿离子束流方向的磁场；所述磁场的磁场强度满足所述离子束的离子在洛伦兹力的作用下做圆周运动的直径小于引出电极系统的电极板上引出口的直径或宽度；本发明通过在引出电极系统的外壁设置螺旋线圈，使离子垂直磁场方向的分速度受磁场中洛伦兹力的作用，在引出电极系统中无法产生有效的持续的横向移动，从而克服了离子束轰击在电极板上产生污垢的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 设备 | ||
【主权项】：
1.一种离子注入设备，设有用于产生离子的离子源和用于引出离子束的引出电极系统，所述引出电极系统的电极板上设有离子束引出口；其特征在于：引出电极系统的外壁设置有螺旋线圈，所述螺旋线圈持续通入直流电，形成沿离子束流方向的磁场，所述磁场的磁场强度满足所述离子束的离子在洛伦兹力的作用下做圆周运动的直径小于引出电极系统的电极板上引出口的直径或宽度。
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